“可快速提高有机EL和4K（UHD）液晶等新型面板的制造成品率，缩短市场投放周期”。在“中国·北京2016国际显示产业高峰论坛”（11月1～2日）上，美国应用材料公司（Applied Materials，AMAT）AKT显示事业部、产品技术部总经理Peter Nunan发表演讲，介绍了这样一种新型检测装置。
应用材料公司AKT显示事业部、产品技术部总经理Peter Nunan在发表演讲
据介绍，由于有机EL及4K液晶等先进显示器需要的工序增加，随之产生的污染物质也不断增多且微细化，新型缺陷也就越来越多。此前检查这些缺陷通常使用内联（IN-LINE)自动光学缺陷检测装置，但在鉴别致命缺陷（重大缺陷）及确定缺陷根本原因方面能力不够。
另一方面，如果利用扫描型电子显微镜来分析，虽然可能鉴别出致命缺陷，确定根本原因，但必须弄碎玻璃基板，利用显微镜逐个观察碎片。因此会浪费大量时间和成本，而且，即便发现缺陷，也基本无法判断这块碎片是属于原面板的哪个部分。
AMAT此次充分利用在半导体制造领域积累的技术，开发出了无需破坏基板即可确认高分辨率SEM像的内联电子束检视（EBR）系统。该技术通过组合半导体缺陷检查中采用的SEM技术和显示器用大型真空平台而实现。如果使用该内联EBR装置，可快速高效查明致命缺陷的根本原因，采取相应的对策。据该公司介绍，利用该系统可在短期内提高有机EL及4K液晶等新型面板的制造成品率，并快速向市场投放，而且还可避免因成品率变动而造成的成本增加。
关于该EBR装置，该公司表示，“在全球排名前十的面板厂商中，已接到6家公司的订单”。其中一家便是中国知名厂商天马微电子。Peter Nunan在此次演讲中表示，天马副总裁马骏评价该产品称，“可缩短天马武汉工厂的量产启动期限，快速向市场投放更先进的显示器产品”。